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1、去百度文库，查看完整内容> 内容来自用户:chen407220 内容提要一、能谱仪的基本原理二、能谱仪的主要功能三、能谱分析对样品和电镜参数的考虑四、能谱分析中几个问题五、环境扫描电镜中能谱仪的应用一、X射线能谱仪的基本原理能谱仪－EDS至前置放大器极靴he-采集角电子阱FET冷指ACTIVESi(Li)准直器硅死层取出角样品窗(光阱)栅格EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM－EDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的表配。

2、是微区成份分析的主要手段之一。

3、能谱仪：EDS(EnergyDispersiveSpectrometer)能谱分析：EDAX(EnergyDispersiveAnalysisofX-rays)能谱法：EDX(EnergyDispersiveX-raySpectrometer)能谱的特点••能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。

4、对试样与探测器的几何位置要求低：对W.D的要求不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。

5、能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。

6、检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。

7、••X射线产生机理a.连续谱X射线的产生：PE在原子实库仑场中减速产生韧致辐射。

8、b.内壳层电离：产生特征X射线(或Auger电子)特征X射线右图：TiK系特征谱(TiKα=4.51KeV)和SbL系特征谱(SbLα=3.61KeV)连续X射线Intensity(I)GeneratedDetected。

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